臭氧发生器是利用高压放电原理,将氧气转化为臭氧的过程。即将高压交流电加在中间隔有绝缘体并有一定间隙的高压电极上,让经过的干燥净化空气或氧气通过。当高压交流电达到10-15KV时,产生蓝色辉光放电,电晕中的自由高能离子离解O2分子,经碰撞聚合为O3分子。
臭氧也可利用电解水法获得,臭氧的不稳定性使其很难实现瓶装贮存,一般只能利用臭氧发生器现场生产,随产随用。臭氧发生器的分类按臭氧产生的方式划分主要有三种:高压放电式、紫外线照射式、电解式。